高配小型臭氧機一般由氣源系統、臭氧發生器、電源系統、冷卻水系統、PLC控制系統、臭氧投加系統及尾氣破壞系統等幾大部分組成。此外,還有大量的輔助設備如測量系統、閥門及管道等。
臭氧發生系統組成圖
發生室系統流程示意圖
下圖為較為完備的發生室系統流程,但不是所有的設備流程都是這樣,部分設備根據實際應用和客戶要求進行了適當的調整和精簡。